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J-GLOBAL ID：200902255386790493   整理番号：03A0731716

Ar+CH₄バリア放電を用いたa-C:H堆積におけるAr(1s_3,5)およびCHのレーザ分光診断

著者 (4件)： 吉崎泰直 (北大) ,  BRATESCU M A (北大) ,  酒井洋輔 (北大) ,  須田善行 (北大)
資料名： 電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集  (Proceedings of Annual Conference of Fundamentals and Materials Society, IEE Japan)
巻： 2003  ページ： 19-24  発行年： 2003年08月25日 
JST資料番号： L3783A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： 水素化 ,...
準シソーラス用語： バリア放電 ,...

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分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  炭素とその化合物  (YB02060D)

タイトルに関連する用語 (6件)： バリア放電 ,  堆積 ,  Ar ,  CH ,  レーザ分光 ,  診断