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J-GLOBAL ID:200902255437403961   整理番号:08A0340687

粘弾性体で被覆したマイクロカンチレバーの吸着誘起静的曲げ

Sorption-induced static bending of microcantilevers coated with viscoelastic material
著者 (5件):
資料名:
巻: 103  号:ページ: 064913  発行年: 2008年03月15日 
JST資料番号: C0266A  ISSN: 0021-8979  CODEN: JAPIAU  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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高分子被覆中への化学検体の吸収は被覆のバルク中に拡散する検体の濃度と型によって支配される膨張を引き起こす。マイクロカンチレバーに被覆を付着したときにはこの膨張がデバイス曲げの原因になる。吸収濃度と平衡濃度の差に比例する吸収速度と共に吸収(すなわち,被覆のバルク中への表面障壁を横切る拡散)がFick型で,被覆が弾性であると仮定すると被覆したデバイスの曲げ応答が一次特性を示すはずである。しかし,高分子被覆の場合には定常状態値へゆっくり減衰するオーバーシュートを示す複雑な特性が認められた。粘弾性体の一般的な応力/歪関係から出発して粘弾性体で被覆したマイクロカンチレバーの吸着誘起静的曲げの理論モデルを示した。このモデルによって粘弾性応力緩和と被覆の可塑化の可能性が説明できる。計算した応答によってこのモデルが実験データで示されている同様な過渡特性を再現できることが分かった。また,提示した理論は測定した曲げデータから被覆の粘弾性特性を導き出すのに使用できる。(翻訳著者抄録)
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