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J-GLOBAL ID：200902255514824207   整理番号：06A0284258

キャピラリーを用いた安定な真空圧力場の作製

Generation of a Stable Vacuum Field by Using a Micro Capillary

著者 (5件)： 吉田肇 (産業技術総合研) ,  新井健太 (産業技術総合研) ,  小松栄一 (産業技術総合研) ,  秋道斉 (産業技術総合研) ,  平田正紘 (産業技術総合研)
資料名： 真空  (Journal of the Vacuum Society of Japan)
巻： 49  号： 3  ページ： 129-131  発行年： 2006年03月20日 
JST資料番号： G0194A  ISSN： 0559-8516  CODEN： SHINA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 安定した真空圧力を作る三つの方法を検討した:可変リークバルブ...

シソーラス用語： *真空 ,...
準シソーラス用語： 校正【計測】 ,...

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分類 (1件)： 真空技術  (BA02020L)

引用文献 (3件)：

• Vacuum gauge-Calibration by direct comparison with a reference gauge. ISO/TS 3567
• 日本工業規格. 真空計校正方法. JIS Z8750
• 今井秀孝訳. 計測における不確かさの表現ガイド. 2000, 130

タイトルに関連する用語 (4件)： キャピラリー ,  真空圧 ,  力場 ,  作製