高温動作用ダイヤフラム一体型圧力センサの開発

文献

J-GLOBAL ID：200902255757082535 整理番号：04A0357702

Development of pressure sensors for high temperature operation.

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資料名：
巻： 124 号： 5 ページ： 183-189 発行年： 2004年05月01日
JST資料番号： L3098A ISSN： 1341-8939 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

Cr-O薄膜を用いた常温仕様の圧力センサを基本に作成プロセス...

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計測機器一般 , 力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器

引用文献 (9件)：

(1) 豊田実,他:「新しいセンサの技術開発と最適な選び方·使い方」,経営開発センター出版部,p. 497 (1978)
(2) Y. Nagura, C. Hao, Y. Onuma, K. Kamiura, and S. Yonekubo : “Preparation of SiC-Si Films for Pressure Sensor Used at High Temperature”, Technical Digest of the 10th Sensor Symposium, p. 125 (1991)
(3) K. Ishii, N. Tawaragi, I. Inamura, Y. Yuzuki, and M. Araragi : “High Temperature Pressure Sensor Using ZMR-SOI Structure”, Technical Digest of the 11th Sensor Symposium, p. 131 (1992)
(4) Y. Suzuki, H. Takenaka, T. Nosaka, and S. Ogawa : “CrOx Thin Film Pressure Sensor Prepared Directly on The Stainless Steel Diaphragm”, Technical Digest of the 12^th Sensor Symposium, pp. 151-154 (1994)
(5) 志水隆一·吉原一紘:実用オージェ電子分光法,共立出版,p. 121 (1989)

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