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J-GLOBAL ID：200902256871059353   整理番号：05A0719748

マイクロ電気機械システム構造での電着により形成した有機誘電体に関する反粘着効果

Anti-Sticking Effect of Organic Dielectric Formed by Electrodeposition in Microelectromechanical-System Structures

著者 (8件)： SAKATA Tomomi (NTT Microsystem Integration Lab., Kanagawa, JPN) ,  ISHII Hiromu (NTT Microsystem Integration Lab., Kanagawa, JPN) ,  OKABE Yuichi (NTT Microsystem Integration Lab., Kanagawa, JPN) ,  NAGASE Masao (NTT Basic Res. Lab., Kanagawa, JPN) ,  KAMEI Toshikazu (NTT Advanced Technol. Corp., Kanagawa, JPN) ,  KUDOU Kazuhisa (NTT Advanced Technol. Corp., Kanagawa, JPN) ,  YANO Masaki (NTT Advanced Technol. Corp., Kanagawa, JPN) ,  MACHIDA Katsuyuki (NTT Microsystem Integration Lab., Kanagawa, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 44  号： 7B  ページ： 5732-5735  発行年： 2005年07月30日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロ電気機械システム(MEMS)構造において,電着を用い...

シソーラス用語： 誘電体 ,...

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分類 (1件)： 有機化合物の薄膜  (BK14070L)

引用文献 (9件)：

• 1) D. J. Harrison, K. Fluri, K. Seiler, Z. Fan, C. S. Effenhauser and A. Manz: Science 261 (1993) 895.
• 2) M. R. Houston, R. Maboudian and R. T. Howe: Proc. IEEE Solid-State Sensor and Actuator Workshop, Hilton Head, 1996, p. 42.
• 3) J.-M. Kim, C.-W. Beak, J.-H. Park, D.-S. Shin, Y.-S. Lee and Y.-K. Kim: J. Micromech. Microeng. 12 (2002) 688.
• 4) M. Collinson, E. F. Bowden and M. J. Tarlov: Langmuir 8 (1992) 1247.
• 5) S. Song, R. A. Clark, E. F. Bowden and M. J. Tarlov: J. Phys. Chem. 97 (1993) 6564.

タイトルに関連する用語 (5件)： 電気機械 ,  システム構造 ,  電着 ,  誘電体 ,  粘着