TSURUBUCHI Seiji について
Dep. of Applied Physics, Tokyo Univ. of Agriculture and Technol., Naka-cho 2-24-16, Koganei-shi, Tokyo 184-8588, JPN について
NIMURA Tomoaki について
Dep. of Applied Physics, Tokyo Univ. of Agriculture and Technol., Naka-cho 2-24-16, Koganei-shi, Tokyo 184-8588, JPN について
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms について
ヒ化ガリウム について
スパッタリング について
GaAs について
スパッタ について
Ga について
残存 について
係数 について