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J-GLOBAL ID：200902257330235694   整理番号：09A0461660

触覚ディスプレイにおけるアプリケーションのための双安定薄膜形状記憶アクチュエータ

Bistable Thin-Film Shape Memory Actuators for Applications in Tactile Displays

著者 (5件)： VITUSHINSKY Roman (Center of Advanced European Studies and Res., Bonn, DEU) ,  VITUSHINSKY Roman (Holst Center, Eindhoven, NLD) ,  SCHMITZ Sam (Center of Advanced European Studies and Res., Bonn, DEU) ,  LUDWIG Alfred (Center of Advanced European Studies and Res., Bonn, DEU) ,  LUDWIG Alfred (Ruhr Univ. Bochum, Bochum, DEU)
資料名： Journal of Microelectromechanical Systems  (Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 18  号： 1  ページ： 186-194  発行年： 2009年02月 
JST資料番号： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 自動車,手術支援,ブラインドの人々の触覚ディスプレイを含むアプリケーションにおける,低パワー消費の触覚グラフィックディスプレイについて検討した。形状記憶合金をベースにしたアクチュエータについて調べた。このアクチュエータはバックル薄膜の複合体をベースにしている。4インチの単結晶1mm厚さのシリコンウェハ上にアクチュエータは形成される。20mm×20mmのサイズで10×10のアクチュエータアレイが形成される。合金はTi,Ni,CUとTi,Ni,Hfからなる。16mNの力で,変位は1.2mmである。

シソーラス用語： 表示装置 ,  双安定性 ,  *薄膜 ,  *形状記憶効果 ,  アクチュエータ
準シソーラス用語： *触覚ディスプレイ ,  *双安定

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： 触覚ディスプレイ ,  アプリケーション ,  双安定 ,  薄膜 ,  形状記憶 ,  アクチュエータ