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J-GLOBAL ID：200902257451079690   整理番号：05A1012979

無冷却ボロメータ検出器用の酸化バナジウム薄膜の低温作製

Low temperature fabrication of vanadium oxide films for uncooled bolometric detectors

著者 (6件)： WANG Hongchen (Dep. of Optoelectronic Engineer, Huazhong Univ. of Sci. and Technol., Wuhan 430074, CHN) ,  WANG Hongchen (The National Lab. for Optoelectronics, 1037 Loyu Road, Wuhan 430074, CHN) ,  YI Xinjian (Dep. of Optoelectronic Engineer, Huazhong Univ. of Sci. and Technol., Wuhan 430074, CHN) ,  YI Xinjian (The Key Lab. of Education Ministry for Imaging Recognization and Intelligence Control, Huazhong Univ. of Sci. and ...) ,  CHEN Sihai (Dep. of Optoelectronic Engineer, Huazhong Univ. of Sci. and Technol., Wuhan 430074, CHN) ,  CHEN Sihai (The National Lab. for Optoelectronics, 1037 Loyu Road, Wuhan 430074, CHN)
資料名： Infrared Physics & Technology  (Infrared Physics & Technology)
巻： 47  号： 3  ページ： 273-277  発行年： 2006年01月 
JST資料番号： H0184A  ISSN： 1350-4495  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 制御したAr/O₂雰囲気中でのイオンビ...

シソーラス用語： *ボロメータ ,...

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分類 (2件)： 赤外・遠赤外領域の測光と光検出器  (BD07032W) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (6件)： ボロメータ ,  検出器 ,  酸化バナジウム ,  薄膜 ,  低温 ,  作製