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J-GLOBAL ID：200902257597079314   整理番号：08A0541568

電磁駆動式ラメラ回折格子に基づくFourier変換マイクロスペクトロメータ

An electromagnetically driven lamellar grating based Fourier transform microspectrometer

著者 (6件)： YU Hongbin (National Univ. Singapore, Singapore) ,  ZHOU Guangya (National Univ. Singapore, Singapore) ,  FOOK Siong Chau (National Univ. Singapore, Singapore) ,  LEE Feiwen (National Univ. Singapore, Singapore) ,  WANG Shouhua (National Univ. Singapore, Singapore) ,  ZHANG Mingsheng (Data Storage Inst., Singapore)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 18  号： 5  ページ： 055016,1-6  発行年： 2008年05月 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： MEMSに基づくラメラ回折格子の可動ファセットの駆動に電磁アクチュエーションを採用したFourier変換ベースのマイクロスペクトロメータを報告した。可動ファセットは面外可動能力を持たせ,大きな光偏向が容易に得られるようにした。さらに,原点を含む二側面インターフェログラムを記録することにより,ゼロ光路差を特定する問題を避けることができた。実験の結果,アクチュエーションコイルに129mAの正および負の電流を印加することにより,±62.5μmの光偏向を実現できることを確認した。マイクロスペクトロメータの分光分解能として,波長632.8nmで3.8nm,532nmで3.44nmが得られた。

シソーラス用語： *スペクトロメータ ,  Fourier変換 ,  電磁駆動 ,  回折格子 ,  層状組織 ,  ラメラ ,  ファセット ,  光偏向 ,  分解能 ,  *MEMS
準シソーラス用語： 光MEMS ,  層状構造

分類 (2件)： スペクトル計測及びスペクトロメータ  (AD08030U) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 電磁駆動 ,  ラメラ ,  回折格子 ,  Fourier変換 ,  スペクトロメータ