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J-GLOBAL ID：200902258093353500   整理番号：04A0248907

化学気相輸送技術による層状基板上へのTaS₂薄膜のVan der Waals成長

Van der Waals Growth of Thin TaS₂ on Layered Substrates by Chemical Vapor Transport Technique

著者 (5件)： ENOMOTO H (Osaka Electro-Communication Univ., Osaka, JPN) ,  KAWANO T (Osaka Electro-Communication Univ., Osaka, JPN) ,  KAWAGUCHI M (Osaka Electro-Communication Univ., Osaka, JPN) ,  TAKANO Y (Nihon Univ., Tokyo, JPN) ,  SEKIZAWA K (Nihon Univ., Tokyo, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters)
巻： 43  号： 2A  ページ： L123-L126  発行年： 2004年02月01日 
JST資料番号： F0599B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： I2媒介物を用いた化学気相輸送技術と結合したVan der ...

シソーラス用語： *硫化物 ,...
準シソーラス用語： Van der Waals成長

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分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

引用文献 (21件)：

• 1) A. Koma, K. Sunouchi and T. Miyajima: J. Vac. Sci. & Technol. B <B>3</B> (1985) 724.
• 2) A. Koma: Thin Solid Films 216 (1992) 72.
• 3) F. S. Ohuchi, B. A. Parkinson, K. Ueno and A. Koma: J. Appl. Phys. 68 (1990) 2168.
• 4) A. Koma, K. Sakai and Y. Sato: Appl. Surf. Sci. 41/42 (1989) 451.
• 5) K. Sakai, K. Ueno, T. Shimada and A. Koma: J. Cryst. Growth 95 (1989) 603.

タイトルに関連する用語 (8件)： 化学 ,  気相 ,  輸送 ,  層状 ,  TaS2 ,  薄膜 ,  VAN ,  成長