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J-GLOBAL ID：200902259410513612   整理番号：09A0132028

マイクロ切削に及ぼす機上工具作製の効果と表面改質によるマイクロツールの強靭化

著者 (6件)： 成瀬哲也 (理研) ,  上原嘉宏 (理研) ,  片平和俊 (理研) ,  水谷正義 (理研) ,  大森整 (理研) ,  小泉仁 (新世代加工システム)
資料名： 砥粒加工学会誌  (Abrasive Technology)
巻： 53  号： 2  ページ： 99-104  発行年： 2009年02月01日 
JST資料番号： L0473A  ISSN： 0914-2703  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 近年の家電製品や携帯用品の小型化・高性能化に伴い,加工ツールに対しても小径化と高性能化が求められているが,マイクロツールは小径化されるにしたがい寸法効果の影響が大きくなるため,ツールの表面性状が工具性能や耐久性に大きな影響を与えることが示唆されている。我々はそれらの要求に対しELID研削を用いることによりマイクロツールの表面粗さを改善し,直径1μmのマイクロツールが作製可能であることを報告してきた。しかしながら,極小径マイクロツールを作製できたとしても,エンドミルなどの回転工具として使用する場合,工具の振れが加工精度や表面粗さに大きな影響を与える。本報では,極小径のマイクロツールを用いて加工するためのシステムを構築し,その加工システムの有効性を検証するとともに,ELID研削による表面改質効果がマイクロツールの機械的性質に何らかの影響を与えているのではないかと考え,ELID研削により作製したマイクロツールの表層内部の化学的性状を調査するためにXPS(X-ray photoelectron spectroscopy)による分析を行った。その結果,酸素原子の浸透および拡散によりマイクロツールが強靭化されたことが示唆された。(著者抄録)

シソーラス用語： *切削 ,  微細加工 ,  *切削工具 ,  小口径 ,  *表面改質 ,  *研削 ,  *工具研削 ,  *工具 ,  強化 ,  酸素 ,  計測 ,  *ELID研削 ,  *マイクロツール ,  *マイクロ切削 ,  オンマシン計測 ,  *小径工具
準シソーラス用語： 機上計測 ,  *小口径工具

分類 (1件)： 研削  (QC03000R)

引用文献 (7件)：

• 上原嘉弘. ELIDマイクロファブリケーションにおけるマイクロツールの開発(第1報 : マイクロツールの加工特性について). 砥粒加工学会誌. 2002, 46, 1, 38
• 上原嘉弘. ELIDマイクロファブリケーションにおけるマイクロツールの開発(第2報 : マイクロツールの評価について). 砥粒加工学会誌. 2004, 48, 5, 269
• 成瀬哲也. ELIDマイクロファブリケーショシにおけるマイクロツールの開発(第5報 : マイクロツールの高能率加工について-その2-). 砥粒加工学会誌. 2005, 49, 3, 44
• OHMORI, H. Investigation of Substrate Finishing Conditions to Improve Adhesive Strength of DLC Films. Annals of the CIRP. 2005, 54, 1, 511
• KATAHIRA, K. Effects of Modified Ground Surface on Adhesiveness between DLC Coating and Ultra-precise Mold. J. Jpn. Soc. Abras. Technol. 2005, 49, 3, 152

タイトルに関連する用語 (6件)： マイクロ切削 ,  工具 ,  作製 ,  表面改質 ,  マイクロツール ,  強靭化