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J-GLOBAL ID：200902259888348161   整理番号：06A0471642

高周波アプリケーション用のオンチップ読出しエレクトロニクスを持つ集積CMOS-MEMS

Integrated CMOS-MEMS With On-Chip Readout Electronics for High-Frequency Applications

著者 (9件)： VERD J. (Univ. Auta de Barcelona, Bellaterra, ESP) ,  URANGA A. (Univ. Auta de Barcelona, Bellaterra, ESP) ,  TEVA J. (Univ. Auta de Barcelona, Bellaterra, ESP) ,  LOPEZ J. L. (Univ. Auta de Barcelona, Bellaterra, ESP) ,  TORRES F. (Univ. Auta de Barcelona, Bellaterra, ESP) ,  ESTEVE J. (CSIC, Bellaterra, ESP) ,  ABADAL G. (Univ. Auta de Barcelona, Bellaterra, ESP) ,  PEREZ-MURANO F. (CSIC, Bellaterra, ESP) ,  BARNIOL N. (Univ. Auta de Barcelona, Bellaterra, ESP)
資料名： IEEE Electron Device Letters  (IEEE Electron Device Letters)
巻： 27  号： 6  ページ： 495-497  発行年： 2006年06月 
JST資料番号： B0344B  ISSN： 0741-3106  CODEN： EDLEDZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ブリッジ型共振器構造を使用したモノリシック集積MEMSの設計...

シソーラス用語： *CMOS構造 ,...
準シソーラス用語： 電気的特性 ,...

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分類 (3件)： 半導体集積回路  (NC03162T) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  共振器  (NC04050Y)

タイトルに関連する用語 (7件)： 高周波 ,  アプリケーション ,  オンチップ ,  エレクトロニクス ,  集積 ,  CMOS ,  MEMS