文献

J-GLOBAL ID：200902259976932400   整理番号：08A0790826

アモルファス炭素ウェハ上の各種フラーレン誘導体薄膜の表面自由エネルギーおよび湿潤性の決定

Surface Free Energy and Wettability Determination of Various Fullerene Derivative Films on Amorphous Carbon Wafer

著者 (9件)： TAJIMA Yusuke (RIKEN, Saitama, JPN) ,  TAJIMA Yusuke (Saitama Univ., Saitama, JPN) ,  MATSUURA Takanori (RIKEN, Saitama, JPN) ,  NUMATA Youhei (RIKEN, Saitama, JPN) ,  YAMAZAKI Daisuke (Saitama Univ., Saitama, JPN) ,  KAWAMURA Hiroaki (RIKEN, Saitama, JPN) ,  KAWAMURA Hiroaki (Toray Ind. Inc., Kanagawa, JPN) ,  OSEDO Hiroki (RIKEN, Saitama, JPN) ,  OSEDO Hiroki (Toray Ind. Inc., Kanagawa, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 47  号： 7 Issue 1  ページ： 5730-5733  発行年： 2008年07月25日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： フラーレン誘導体がスピンコートされている研磨アモルファス炭素ウェハー(a-C)の表面エネルギーをテスト用液体の接触角によって評価する。また,エポキシポリマー小滴の接触角を測ってエポキシレジンとa-Cウェハー管の接着剤上のフラーレン誘導体の効果を調べる。極性基をもつフラーレン誘導体でウェハーをスピンコートした時に表面エネルギーの明らかな上昇が認められる。分散,極,および水素結合力の3表面エネルギー要素を拡張Fowkes法による接触角によって決定する。このようにして求めた全表面エネルギーはフラーレン誘導体の性質によって36.2から50.4mN/mに変動する。表面トータルエネルギーを増やす主要因子はフラーレン誘導体の極コンポーネントである。ウェハー上の薄膜フラーレンの顕微鏡的構造は,a-Cウェハーとエポキシレジン間の表面エネルギーおよび湿潤性に本質的に影響がない。現研究では,極性基をもつフラーレン誘導体はエポキシレジンとa-Cウェハーの間を固定する接着剤として働くことを明らかにした。即ち,フラーレンの極性基はエポキシレジンに対し大きなアフィニティがあり,フラーレン核にはa-Cに対するアフィニティがある。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *非晶質 ,  *炭素 ,  ウエハ【IC】 ,  *フラーレン ,  接触角 ,  *表面エネルギー ,  スピンコーティング ,  研磨 ,  *エポキシ樹脂 ,  被覆 ,  *接着剤 ,  親和性 ,  フラーライド ,  機械工作
準シソーラス用語： フラーレン誘導体

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (14件)：

• J. Njuguna and K. Pielichowski: Adv. Eng. Mater.6(2004)193.
• H. Takiyama and S. Honda: Japan Patent 2006124555(2006).
• T. Kumamoto: U. S. Patent 2007105644(2007).
• H. Fujii, S. Yamamoto, and K. Nakabayashi: Japan Patent 2006334305(2006).
• M. Grischke, K. Bewilogua, K. Trojan, and H. Dimigen: Surf. Coat. Technol.74-75(1995)739.

タイトルに関連する用語 (6件)： アモルファス炭素 ,  ウェハ ,  フラーレン誘導体 ,  薄膜 ,  表面自由エネルギー ,  湿潤性