H<sub>2</sub>検出構造としてのCH<sub>x</sub>/PS/Siの感度に対するPd層の影響

GABOUZE N.; CHERAGA H.; BELHOUSSE S.; GHELLAI N.; ZOUADI N.; OUADAH Y.; CHABANE-SARI N.-E.

文献

J-GLOBAL ID：200902260424874250 整理番号：07A0608729

H₂検出構造としてのCH_x/PS/Siの感度に対するPd層の影響

Influence of Pd layer on the sensitivity of CH_x/PS/Si as structure for H₂ sensing

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資料名：
巻： 204 号： 5 ページ： 1412-1416 発行年： 2007年05月
JST資料番号： D0774A ISSN： 1862-6300 CODEN： PSSABA 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：ドイツ (DEU) 言語：英語 (EN)

H₂気体存在下でのセンサの感度および応...

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H2検出構造としてのCHx/PS/Siの感度に対するPd層の影響

H₂検出構造としてのCH_x/PS/Siの感度に対するPd層の影響