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J-GLOBAL ID：200902262172534038   整理番号：06A0427455

イオンビームスパッタによるポリカーボネート上への透光性保護膜の形成

著者 (5件)： CHOI Junho (産業技術総合研) ,  加藤孝久 (東大) ,  中尾節男 (産業技術総合研) ,  金鍾得 (産業技術総合研) ,  池山雅美 (産業技術総合研)
資料名： 日本トライボロジー学会トライボロジー会議予稿集  (Proceedings of JAST Tribology Conference)
巻： 2006-5  ページ： 319-320  発行年： 2006年04月20日 
JST資料番号： Y0047B  ISSN： 0919-6005  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： イオンビーム ,...

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分類 (2件)： 表面処理  (YH04112X) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (4件)： イオンビームスパッタ ,  ポリカーボネート ,  透光性 ,  保護膜