テーパー管の通過確率の近似式

松田七美男

文献

J-GLOBAL ID：200902262209550527 整理番号：09A0876252

テーパー管の通過確率の近似式

An Approximate Equation to the Transmission Probabilities of Conical Tubes

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著者 (1件)：
資料名：
巻： 52 号： 7 ページ： 407-410 (J-STAGE) 発行年： 2009年
JST資料番号： G0194A ISSN： 1882-2398 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

分子流コンダクタンスの値は,最も簡単な一様円筒導管の場合でも近似的に与えられているのが現状である。テーパー管の分子流コンダクタンスについては未だ実用に足る近似式は見当たらない。実際にコンダクタンスが必要になった場合,モンテカルロ法を用いて通過確率を計算し,開口コンダクタンスとの積として値を算出しており,手軽に使える近似式が求められている。Clausing積分方程式により,テーパ管の通過確率を頂角と管の長さの広い範囲に渡って正確に求めた。ついでに求められた数値計算結果を表現する近似式を,短い管に適用できるFustossの式を拡張する形式で考案した。得られた式と正確な数値計算値の誤差は最大4%程度に収まる。テーパー管の分子流コンダクタンスを算出する実用的な近似式が得られたことになる。

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管内流

引用文献 (14件)：

1) A. S. Berman: J. Appl. Phys., 36 (1965) 3356.
2) C. M. Davis and C. B. Lucas: J. Phys. D, 16 (1983) 1.
3) D. J. Santeler: J. Vac. Sci. Technol. A, 4 (1986) 338.
4) N. Matuda: Shinku, 47 (2004) 690.
5) R. P. Iczkowski, J. L. Margraveand S. M. Robinson: J. Phys. Chem., 67 (1963) 229.

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