フィルタを通した陰極真空アーク法によって蒸着した窒素ドープダイヤモンド様炭素膜の電界放出特性

文献

J-GLOBAL ID：200902262983840899 整理番号：03A0585235

Field-emission characteristics of nitrogen-doped diamond-like carbon film deposited by filtered cathodic vacuum arc technique

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巻： 324 号： 1/2 ページ： 187-191 発行年： 2003年08月15日
JST資料番号： D0642A ISSN： 0022-3093 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

標記ダイヤモンド様(DLC)膜で被覆したシリコン電界放出アレ...

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熱電子放出,電界放出 , 半導体薄膜 , 無機化合物一般及び元素 , その他の固体デバイス

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