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J-GLOBAL ID：200902263624365812   整理番号：07A0377337

RFスパッタリング法により作製したTiO₂:NbおよびTiO₂:Ta薄膜の熱処理効果

著者 (7件)： 金子悠祐 (徳島大 大学院) ,  小林利成 (徳島大 大学院) ,  村井寛幸 (徳島大 大学院) ,  宮本佳典 (徳島大 大学院) ,  富永喜久雄 (徳島大 大学院) ,  村井啓一郎 (徳島大 大学院) ,  森賀俊広 (徳島大 大学院)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 54th  号： 2  ページ： 705  発行年： 2007年03月27日 
JST資料番号： Y0054A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： RFスパッタリング ,...

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分類 (3件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  半導体結晶の電気伝導  (BM03043X) ,  光物性一般  (BM08010A)

タイトルに関連する用語 (7件)： RFスパッタリング ,  作製 ,  TiO2 ,  Nb ,  Ta ,  薄膜 ,  熱処理