圧電性LiTaO<sub>3</sub>基板上に堆積させた付着性の良いDLC膜

TIAN Jingze; ZHANG Qing; ZHOU Q.; YOON S. F.; AHN J.; WANG S. G.; LI J. Q.; YANG D. J.

文献

J-GLOBAL ID：200902263707316945 整理番号：05A0435597

圧電性LiTaO₃基板上に堆積させた付着性の良いDLC膜

Study of well adherent DLC film deposited on piezoelectric LiTaO₃ substrate

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著者 (8件)： , , , , , , ,
資料名：
巻： 239 号： 3/4 ページ： 255-258 発行年： 2005年01月31日
JST資料番号： B0707B ISSN： 0169-4332 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

DLC膜のSAW素子への応用を狙って,従来からの問題であった...

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その他の無機化合物の薄膜 , 固体の機械的性質一般 , 光物性一般

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圧電性LiTaO3基板上に堆積させた付着性の良いDLC膜

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