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J-GLOBAL ID：200902265041065910   整理番号：08A1145231

誘電体の超高速レーザアブレーションに対する改善二温度方程式と組み合わせたプラズマモデル

A plasma model combined with an improved two-temperature equation for ultrafast laser ablation of dielectrics

著者 (2件)： JIANG Lan (Laser Micro-/Nano-Fabrication Lab., Dep. of Mechanical and Automation Engineering, 3rd School, Beijing Inst. of ...) ,  TSAI Hai-lung (Laser-Based Manufacturing Lab., Dep. of Mechanical and Aerospace Engineering, Missouri Univ. of Sci. and Technol. ...)
資料名： Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)
巻： 104  号： 9  ページ： 093101  発行年： 2008年11月01日 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： フェムト秒レーザアブレーションにおける材料除去機構を理論的に予測することは大きい課題として残っている。この未解決の問題を迂回するために,非金属のフェムト秒レーザアブレーションの多くの計算は,相変化機構の実際の考察なしに自由電子密度分布に基づいていた。しかし,この広く用いられている重要な仮定は更なる理論的及び実験的確認を必要とする。プラズマモデルと著者が開発した改善二温度モデルを組み合わせることにより,この研究は非熱的過程(Coulomb爆発及び静電アブレーション)を通じて誘電体のフェムト秒レーザアブレーション中のアブレーションしきい値フルエンス・深さ・形状を調べることに集中した。(1)プラズマモデルのみ,及び(2)プラズマモデル+二温度方程式を用いて溶融シリカで予測したアブレーション深さ及び形状は,どちらも既発表の実験結果と一致した。自由電子密度に基づくプラズマモデルにおいて,しきい値フルエンス,アブレーション深さ及び形状に対して広く用いられる仮定は,比較研究と実験データにより検証された。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *レーザアブレーション ,  パルスレーザ照射 ,  誘電体 ,  *石英ガラス ,  モデル理論 ,  *レーザプラズマ ,  電子-フォノン相互作用 ,  プラズマ生成 ,  フェムト秒レーザ
準シソーラス用語： Coulomb爆発 ,  自由電子 ,  電子加熱

分類 (2件)： レーザ照射・損傷  (BK16040S) ,  プラズマ一般  (BJ02010B)

タイトルに関連する用語 (5件)： 誘電体 ,  レーザアブレーション ,  方程式 ,  プラズマ ,  モデル