文献

J-GLOBAL ID：200902265121352252   整理番号：05A0317641

微細加工穴に分配された高分子複合体をベースとした集積化およびマイクロヒータ埋め込みガスセンサアレイ

Integrated and microheater embedded gas sensor array based on the polymer composites dispensed in micromachined wells

著者 (7件)： HA S-C (Electronics and Telecommunications Res. Inst., Taejon, KOR) ,  KIM Y S (Electronics and Telecommunications Res. Inst., Taejon, KOR) ,  YANG Y (Electronics and Telecommunications Res. Inst., Taejon, KOR) ,  KIM Y J (Electronics and Telecommunications Res. Inst., Taejon, KOR) ,  CHO S-M (Electronics and Telecommunications Res. Inst., Taejon, KOR) ,  YANG H (Electronics and Telecommunications Res. Inst., Taejon, KOR) ,  KIM Y T (Electronics and Telecommunications Res. Inst., Taejon, KOR)
資料名： Sensors and Actuators. B. Chemical  (Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻： B105  号： 2  ページ： 549-555  発行年： 2005年03月28日 
JST資料番号： T0967A  ISSN： 0925-4005  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 5in.研磨シリコンウエハ(100)の両面に製作した小型で温...

シソーラス用語： *ガスセンサ ,...
準シソーラス用語： ポリカプロラクタム ,...

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=05A0317641&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=T0967A") }}

分類 (3件)： 分析機器  (CC02020S) ,  有機化合物の電気分析  (CC05034O) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

物質索引 (11件)： メタクリル酸メチル ,  ステアリン酸ビニル ,  プロパノール ,  クロロホルム ,  アセトン ,  ベンゼン ,  シクロヘキサン ,  エタノール ,  ヘプタン ,  メタノール ,  トルエン

タイトルに関連する用語 (7件)： 微細加工 ,  分配 ,  高分子複合体 ,  集積化 ,  マイクロヒータ ,  埋め込み ,  ガスセンサアレイ