マイクロ熱電ガスセンサのための断熱構造上のプラチナ・マイクロホットプレート

文献

J-GLOBAL ID：200902265516324940 整理番号：06A0765568

Platinum Micro-Hotplates on Thermal Insulated Structure for Micro-Thermoelectric Gas Sensor

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資料名：
巻： 126 号： 10 ページ： 568-572 発行年： 2006年10月01日
JST資料番号： L3098A ISSN： 1341-8939 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

最近,マイクロ-ホットプレートが多くのアプリケーションで使用...

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分析機器 , 固体デバイス製造技術一般

引用文献 (12件)：

(1) R. P. Manginell, D. A. Rosato, D. A. Benson, and G.. C. Frye-Mason : “Finite element modeling of a microhotplate for microfluidic applications”, MSM99, pp. 663-666 (1999)
(2) M. Parameswaran, A. M. Robinson, D. L. Blackburn, M. Gaitan, and J. Geist : “Micromachined thermal radiation emitter from a commercial CMOS process”, IEEE Elec. Dev. Let., Vol. 12, pp. 57-59 (1991)
(3) D. N. Pagonis, G. Kaltsas, and A. G. Nassiopoulou : “Fabrication and testing of an integrated thermal flow sensor employing thermal isolation by a porous silicon membrane over an air cavity”, J. Micromech. Microeng., Vol. 14, pp. 793-797 (2004)
(4) J. S. Suehle, R. E. Cavicchi, M. Gaitan, and S. Semancik : “Tin oxide gas ensor fabricated using CMOS micro-hotplates and in-situ processing”, IEEE Elec. Dev. Let., Vol. 14, pp. 118-120 (1993)
(5) I. Simon, N. Bârsan, M. Bauer, and U. Weimar : “Micromachined metal oxide gas sensors: opportunities to improve sensor performance”, Sensors and Actuators, B, Vol. 73, pp. 1-26 (2001)

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