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J-GLOBAL ID：200902265713859724   整理番号：09A0783162

液体封入式電気抵抗型傾斜センサの試作と特性評価

Fabrication and Characteristic Evaluation of Fluid-based Resistive Type Inclination Sensor

著者 (2件)： 河野秀美 (慶応大) ,  松本佳宣 (慶応大)
資料名： 電気学会フィジカルセンサ研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： PHS-09  号： 16-42  ページ： 135-138  発行年： 2009年07月23日 
JST資料番号： L2897B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本論文は,液体封入式電気抵抗型傾斜センサについて報告した。本センサでは,液体と接した2枚の片面電極間の電気抵抗を傾斜検出に利用する。液体には炭酸プロピレンを使用した。前報告の直流電圧駆動では,電極表面状態の影響を受けやすく,センサ特性のばらつきが大きかった。今回は,交流電圧を印加することにより,低消費電力を維持しながら高感度化,低電圧駆動を可能にした。また,長期安定性の向上のため作製した金電極のセンサにおいても,交流電圧の印加で高感度を実現できることを確認した。

シソーラス用語： *傾斜計 ,  液体 ,  *電気抵抗 ,  *検出 ,  交流電圧 ,  消費電力 ,  高感度 ,  金電極 ,  プリント基板 ,  *変化検出
準シソーラス用語： 低消費電力

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

引用文献 (7件)：

• Asrulnizam Bin Abd Manaf, Kazumasa Nakamura and Yoshinori Matsumoto “One-Side Electrode-Type Fluid-based Inclinometer Combined with Complementary Metal Oxide Semiconductor Circuitry”, Sensors and Materials, Vol.19, No.7, p. 417-434(2007)
• Asrulnizam Bin Abd Manaf, Kazumasa Nakamura and Yoshinori Matsumoto“Characterization of Miniaturized One-Side-Electrode-Type Fluid-Based Inclinometer”, Sensors and Actuators A, Vol.144, pp. 79-82(2008)
• Asrulnizam Bin Abd Manaf and Yoshinori Matsumoto “Low voltage charge-balanced capacitance-voltage conversion circuit for oneside-electrode-type fluid-based inclination sensor”, Solid-State Electronics, Vol.53, on.63.69(2009)
• 河野秀美, Asrulnizam bin Abd Manaf, 松本佳宣: “液体封入式抵抗型傾斜センサの試作と特性”, 第25回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム講演集, LN-10, p. 126 (2008.10)
• 中村和正, Asrunizam Bin Abd Manaf, 松本佳宣: “電解液を用いた容量型傾斜スイッチに関する研究”, センサ・マイクロマシン部門総合研究会資料, つくば大学, pp. 11-16 (2007.7)

タイトルに関連する用語 (5件)： 封入 ,  電気抵抗 ,  傾斜センサ ,  試作 ,  特性評価