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J-GLOBAL ID：200902266071925210   整理番号：04A0843217

アルゴン誘導結合プラズマにおける遷移動力学に対する高周波駆動パワー,気体圧力および窒素シーディングの効果

Effects of radio-frequency driving power, gas pressure, and nitrogen seeding on the transition dynamics in argon inductively coupled plasmas

著者 (3件)： RAZZAK M A (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  TAKAMURA S (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  UESUGI Y (Kanazawa Univ., Ishikawa, JPN)
資料名： Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)
巻： 96  号： 9  ページ： 4771-4776  発行年： 2004年11月01日 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 圧力範囲が50~100kPaの標記プラズマにおける静電-電磁...

シソーラス用語： *アルゴン ,...
準シソーラス用語： 圧力依存性 ,...

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分類 (1件)： プラズマ生成・加熱  (BJ02060E)

タイトルに関連する用語 (9件)： アルゴン ,  誘導結合プラズマ ,  遷移 ,  動力学 ,  高周波駆動 ,  パワー ,  気体圧力 ,  窒素 ,  シーディング