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J-GLOBAL ID：200902266280004105   整理番号：09A0533828

横方向電圧印加型DCELデバイスの作製における転写とエッチングの導入

著者 (3件)： 松澤友紀 (神奈川大 工) ,  佐藤知正 (神奈川大 工) ,  平手孝士 (神奈川大 工)
資料名： 電子情報通信学会大会講演論文集  (電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集)
巻： 2009  号： エレクトロニクス2  ページ： 9  発行年： 2009年03月04日 
JST資料番号： G0508A  ISSN： 1349-1369  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： カーボン膜上にもZnOナノロッドを作製できた。また,カーボンコートにより転写時の剥離性が向上し,コンポジット層にクラックが発生することなく転写できた。しかし,スパッタエッチングによりZnO横連続層を除去したら,意図とは逆に導電性が増した。(著者抄録)

シソーラス用語： *エレクトロルミネセンス ,  *ナノロッド ,  膜 ,  炭素 ,  酸化亜鉛 ,  複合膜 ,  *イオンエッチング ,  導電性 ,  転写 ,  炭素膜
準シソーラス用語： *DCEL ,  ZnO ,  カーボン膜 ,  コンポジット膜 ,  *スパッタエッチング

分類 (3件)： 無機化合物のルミネセンス  (BM08093J) ,  半導体集積回路  (NC03162T) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 横方向 ,  電圧印加 ,  作製 ,  転写 ,  エッチング