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J-GLOBAL ID:200902266319344510   整理番号:08A1117849

組織の三次元可視化に関する研究-3 電子線トモグラフィーによる結晶材料組織の3次元可視化

著者 (13件):
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巻: 13  号: 11  ページ: 719-726  発行年: 2008年11月01日 
JST資料番号: L2666A  ISSN: 1341-688X  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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結晶性材料の3次元観察法としてX線CTの原理をTEMに応用した電子線トモグラフィーについて,その手順とその適用例を紹介した。基本手順は3次元物体である試料の2次元投影像とみなせるTEM像の1軸傾斜連続傾斜像の撮影である。その後,連続傾斜像をデジタルデータとしてコンピューターに取り込み,フィルター補正逆投影法や同時反復再構成法により3次元画像を再構成し,各像の視野ずれなどの補正を行う。ニッケル基超合金の析出組織の3次元観察や転位の撮像例を示した。3次元画像の再構成には試料傾斜角度範囲と傾斜像枚数(傾斜刻み角度)の影響をうけ,回折コントラストが課題である。定量解析や高分解能解析といった観点からみれば,結晶材料の電子線トモグラフィーは未だ発展途上の技術である。
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分類 (1件):
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金属組織観察法 
引用文献 (58件):
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