非晶質ケイ素TFTをもつ多結晶ケイ素TFT集積化のためのSELAX技術

文献

J-GLOBAL ID：200902266687522682 整理番号：08A0102510

SELAX Technology for Poly-Si TFTs Integrated with Amorphos-Si TFTs

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資料名：
巻： 14th 号： Vol.2 ページ： 481-484 発行年： 2007年
JST資料番号： L4269A ISSN： 1883-2490 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

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