微小電子機械システムの静電およびCasimir力を受ける膜構造物のたわみと安定性

文献

J-GLOBAL ID：200902267822139610 整理番号：06A0048094

Deflection and stability of membrane structures under electrostatic and Casimir forces in microelectromechanical systems

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巻： 180 号： 1/4 ページ： 49-60 発行年： 2005年12月
JST資料番号： H0344B ISSN： 0001-5970 CODEN： AMHCAP 資料種別：逐次刊行物 (A)
発行国：オーストリア (AUT) 言語：英語 (EN)

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