抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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X線分析や電子エネルギー損失分光などの分析電子顕微鏡技術の急速な発展とともに,1MV以上の超高圧透過型電子顕微鏡(HVEM)は微小領域の状態解析研究に欠かせない実験手法の一つになってきた。ここでは,最近のHVEM技術の評価への応用例を紹介した。はじめに,九州大学に設置されたオメガ型電子エネルギーフィルター付で加速電圧400~1300kVのHVEM装置(JEM-1300NEF)概要と仕様を示した。HVEMの最大の特徴である高い透過能を活かした厚い試料の観察,また,その場観察への適用として,鉄鋼材料の格子欠陥研究,酸化セリウムCeO
2転位集合体の観察や3次元電子線トモグラフィーとの組合せによる転位の三次元組織解析への展開例を取上げた。