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J-GLOBAL ID：200902268936252960   整理番号：03A0773694

大気圧における窒素中の非熱的プラズマプロセシング時のクロロフルオロカーボンの解離の機構

Mechanism of the Dissociation of Chlorofluorocarbons during Nonthermal Plasma Processing in Nitrogen at Atmospheric Pressure

著者 (4件)： GAL’ A (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN) ,  OGATA A (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN) ,  FUTAMURA S (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN) ,  MIZUNO K (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN)
資料名： Journal of Physical Chemistry A  (Journal of Physical Chemistry A)
巻： 107  号： 42  ページ： 8859-8866  発行年： 2003年10月23日 
JST資料番号： C0334B  ISSN： 1089-5639  CODEN： JPCAFH  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 窒素気体中の低濃度(~100ppm)のクロロフルオロカーボン...

シソーラス用語： 窒素 ,...
準シソーラス用語： *プラズマプロセシング

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分類 (3件)： 分解反応  (CF02080P) ,  脂肪族ハロゲン化合物  (CF03050P) ,  有害ガス処理法  (SC04030H)

物質索引 (4件)： テトラフルオロメタン ,  ジクロロジフルオロメタン ,  クロロジフルオロメタン ,  クロロトリフルオロメタン

タイトルに関連する用語 (6件)： 大気圧 ,  窒素 ,  非熱的プラズマ ,  プロセシング ,  クロロフルオロカーボン ,  解離