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J-GLOBAL ID:200902269507128930   整理番号:09A0320929

Ti/Zr/磁器界面の微細構造と性質

Microstructure and Property of Ti/Zr/Porcelain Interface
著者 (4件):
資料名:
号:ページ: 40-43,47  発行年: 2008年 
JST資料番号: C2125A  ISSN: 1001-4381  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 中国 (CHN)  言語: 中国語 (ZH)
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マグネトロンスパッタリング技術を用いて研磨したチタン基板にZrN膜をスパッタリングし,Ti/Zr/磁器界面の微細構造と性質を検討した。磁器とチタンの界面は主にTi,Siおよび酸素からなるチタンと反応域の酸化層を構成していた。チタン/磁器の接合部はZrN被覆の蒸着後Ti/Zr/磁器に変化していた。ZrN膜はチタンにおける酸化層の形成を防止した。Ti/Zr/磁器の接合強度は29.2MPaであり,チタン/磁器の接合強度23.5MPaに比較し24.3%増加した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST
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