自己組織膜テンプレート上へのイットリア薄膜のマイクロパターニング

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J-GLOBAL ID：200902269804477781 整理番号：05A0493064

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資料名：
巻： 2005 ページ： 61 発行年： 2005年03月22日
JST資料番号： X0505A 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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酸化物薄膜 , 固体デバイス製造技術一般

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