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J-GLOBAL ID:200902270918364861   整理番号:04A0383937

ターボ分子ポンプの歴史と展望

著者 (1件):
資料名:
巻: 47  号:ページ: 99-103  発行年: 2004年03月20日 
JST資料番号: G0194A  ISSN: 0559-8516  CODEN: SHINA  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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分類 (1件):
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真空技術 
引用文献 (19件):
  • GAEDE, W. Ann. Der Phys. IV. 1923, 41, 289
  • HOLWECK, F. L'Onde Electrique. 1923, 21, 497
  • FRIESEN, S. W. Rev. Sci. Instr. 1940, 11, 362
  • BECKER, W. Adv. Vac. Science Tech. 1960, 1, 173
  • HABLANIAN, M. H. Adv. Vac. Science Tech. 1960, 1, 168
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