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J-GLOBAL ID:200902271551328940   整理番号:07A1078702

レーザプラズマ極端紫外線源用のXeキャピラリターゲット

Xe capillary target for laser-plasma extreme ultraviolet source
著者 (6件):
資料名:
巻: 78  号: 10  ページ: 105105  発行年: 2007年10月 
JST資料番号: D0517A  ISSN: 0034-6748  CODEN: RSINAK  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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レーザプラズマによる極端紫外線(EUV)源に連続的に高速でX...
シソーラス用語:
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分類 (3件):
分類
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プラズマ中の電磁波  ,  レーザ照射・損傷  ,  光源 
タイトルに関連する用語 (5件):
タイトルに関連する用語
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