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J-GLOBAL ID：200902271579507085   整理番号：08A1178100

ビットパターン媒体用1Tbit/in²級Co-Ptドットアレイの作製

Fabrication of Co-Pt Array with 1 Tbit/in² for Bit Patterned Media

著者 (11件)： 近藤祐治 (秋田県産業技術総合研究セ) ,  千葉隆 (秋田県産業技術総合研究セ) ,  有明順 (秋田県産業技術総合研究セ) ,  田口香 (秋田県産業技術総合研究セ) ,  鈴木基寛 (高輝度光科学研究セ) ,  河村直己 (高輝度光科学研究セ) ,  MOHAMAD Zulfakri Bin (群馬大) ,  保坂純男 (群馬大) ,  長谷川崇 (秋田大) ,  石尾俊二 (秋田大) ,  本多直樹 (東北工大)
資料名： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 108  号： 234(MR2008 19-29)  ページ： 1-6  発行年： 2008年10月02日 
JST資料番号： S0532B  ISSN： 0913-5685  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ビットパターン媒体作製に関して,イオンエッチング時に生じる磁気的な加工ダメージを軽減するために,低エネルギーイオンによるエッチングプロセスの有効性を検討した。電子線描画と低エネルギーイオンエッチングを用いてCo-Pt磁性ドットを作製し,磁気特性評価を行った。実験結果とシミュレーション結果の比較から,飽和磁化や垂直磁気異方性の劣化はほとんどないことが明らかになり,1Tbit/in²のBPMを実現する上で,低エネルギーイオンエッチングが有効であることが示された。さらに,30nmピッチのCo-Pt磁性ドットアレイのSEM観察とMFM観察から,磁性ドットが規則配列し,磁気的に孤立していることを確認した。(著者抄録)

シソーラス用語： *垂直磁気記録 ,  記録密度 ,  緻密化 ,  イオンエッチング ,  量子ドット ,  磁気的性質 ,  高密度化 ,  *記録
準シソーラス用語： 磁気記録法 ,  *ビットパターン媒体 ,  *磁性ドット

分類 (1件)： 電子・磁気・光学記録  (NC06020F)

引用文献 (5件)：

• 1) KONDO Y. J. Magn. Soc. Jpn.. (2006) vol.30, p.112-115.
• 2) SUZUKI M. Proceedings of the International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation, 2007. (2007) p.1699-1702.
• 3) ZIEGLER J. F. The Stopping and Range of Ions in Solids. Pergamon Press. (1985)
• 4) BELLE B. D. J. Appl. Phys.. (2007) vol.101, p.09F517.
• 5) 本多直樹. 信学技法. (2005) vol.MR2005-15, p.51.

タイトルに関連する用語 (5件)： ビットパターン媒体 ,  CO ,  PT ,  ドットアレイ ,  作製