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J-GLOBAL ID：200902271878807893   整理番号：07A1127498

Pt,IrO₂及びSrRuO₃上部電極のPb(Zr,Ti)O₃薄膜キャパシタにおける界面効果

Interface Effects of Pb(Zr,Ti)O₃ Thin Film Capacitors with Pt, IrO₂ and SrRuO₃ Top Electrodes

著者 (2件)： NOZAKA Takashi (Yokohama Denshi Seiko Co., Ltd., Niigata, JPN) ,  MASUDA Yoichiro (Hachinohe Inst. of Technol., Aomori, JPN)
資料名： Ferroelectrics  (Ferroelectrics)
巻： 357  ページ： 840-846,880-881  発行年： 2007年10月 
JST資料番号： D0777A  ISSN： 0015-0193  CODEN： FEROA8  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Pt下部電極上にゾル-ゲル法によりPZT薄膜を堆積し,さらに...

シソーラス用語： *強誘電体 ,...
準シソーラス用語： *PZT【鉛化合物】 ,...

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分類 (2件)： 強誘電体,反強誘電体,強弾性  (BM05030B) ,  金属-絶縁体-金属構造  (BM03087F)

タイトルに関連する用語 (8件)： Pt ,  上部電極 ,  Pb ,  Zr ,  Ti ,  O3 ,  薄膜キャパシタ ,  界面