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J-GLOBAL ID：200902272411416005   整理番号：09A0195838

マイクロ波促進CVDによるCO/Ar/O₂系の低温での合成のカーボンナノファイバのキャラクタリゼーション

Characterization of carbon nanofibers synthesized by microwave plasma-enhanced CVD at low-temperature in a CO/Ar/O₂ system

著者 (2件)： MORI Shinsuke (Dep. of Chemical Engineering, Tokyo Inst. of Technol., S1-25, 2-12-1 O-okayama, Meguro-ku, Tokyo 152-8552, JPN) ,  SUZUKI Masaaki (Dep. of Chemical Engineering, Tokyo Inst. of Technol., S1-25, 2-12-1 O-okayama, Meguro-ku, Tokyo 152-8552, JPN)
資料名： Diamond and Related Materials  (Diamond and Related Materials)
巻： 18  号： 4  ページ： 678-681  発行年： 2009年04月 
JST資料番号： W0498A  ISSN： 0925-9635  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： CO/Ar/O₂系を用いたマイクロ波プラズマ促進化学蒸着によるカーボンナノファイバの低温合成およびそのキャラクタリゼーションを行った。最適酸素濃度,O₂/CO=7/1000において,垂直配列CNFsが,180°C程度の温度で成長速度4~6nm/sで合成することができた。バルクCNFsの直径は,約50~100nmで,CNFsの表面は,直径が約5~20nmの分岐した繊維とその核で覆われていた。炭素鎖に基づくピークのみならず,C=OおよびC-O-Cのような酸素含有基がFTIRスペクトルに認められた。CNFsの成長速度は,基板温度にはほぼ無関係で,基板上ではなく,気相での素過程が,CO/Ar/O₂存在中でのマイクロ波-プラズマ促進CVD系での律速段階であると結論された。Copyright 2009 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *炭素繊維 ,  ナノ構造 ,  ホウケイ酸ガラス ,  基板 ,  鉄触媒 ,  *一酸化炭素 ,  *アルゴン ,  *酸素 ,  *マイクロ波放電 ,  *プラズマCVD ,  *低温生成 ,  キャラクタリゼーション ,  成長速度 ,  気相成長 ,  律速
準シソーラス用語： *カーボンナノファイバ

分類 (2件)： その他の紡糸・製糸  (YM03050G) ,  炭素とその化合物  (YB02060D)

タイトルに関連する用語 (9件)： マイクロ波 ,  促進 ,  CVD ,  CO ,  Ar ,  O2 ,  低温 ,  カーボンナノファイバ ,  キャラクタリゼーション