シートレーザによる薄い被覆膜の厚みの実時間測定

文献

J-GLOBAL ID：200902273077862526 整理番号：04A0271258

Real-time measurement of a thickness of a thin coating by means of sheet laser

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資料名：
巻： 41 号： 5 ページ： 731-742 発行年： 2004年05月
JST資料番号： A0602B ISSN： 0143-8166 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

被覆した膜の厚みを数十Hzの測定周波数で実時間測定できる独自...

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薄膜成長技術・装置 , 干渉測定と干渉計

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