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J-GLOBAL ID：200902273231353095   整理番号：06A0102797

マイクロ固体レーザーによる微細加工の可能性

著者 (4件)： 平等拓範 (自然科学研究機構 分子科研) ,  松岡芳彦 (産業技術総合研) ,  酒井博 (浜松ホトニクス 中研) ,  菅博文 (浜松ホトニクス 中研)
資料名： レーザ加工学会講演論文集  (Proceedings of the Laser Materials Processing Conference)
巻： 65th  ページ： 183-187  発行年： 2005年12月 
JST資料番号： L3079A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 手のひらサイズ,メガワット級尖頭出力を有するCr<sup>4...

シソーラス用語： *固体レーザ ,...

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分類 (3件)： レーザの応用  (BD04100V) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  その他の切削  (QC02040C)

タイトルに関連する用語 (4件)： マイクロ ,  固体レーザー ,  微細加工 ,  可能性