MEMSマイクロバルブを有する小型薄膜NiTi水圧アクチュエータ

MCKNIGHT Geoff; MOMODA Leslie; CROFT Don; LEE Dong G.; SHIN Daniel; CARMAN Greg

文献

J-GLOBAL ID：200902273799302614 整理番号：05A0632741

MEMSマイクロバルブを有する小型薄膜NiTi水圧アクチュエータ

Miniature Thin Film NiTi Hydraulic Actuator with MEMS Microvalves

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著者 (6件)： , , , , ,
資料名：
巻： 5762 ページ： 187-195 発行年： 2005年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

薄膜NiTi形状記憶合金膜の高い機械的電力出力を利用した,高...

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その他の金属組織学

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