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J-GLOBAL ID：200902274015360792   整理番号：05A0748359

フェムト秒レーザーによる硬質薄膜表面のナノ構造形成と制御

Control of Periodic Nanostructures Formed on Hard Thin Films with Femtosecond Laser Pulses

著者 (3件)： 安丸尚樹 (福井工高専) ,  宮崎健創 (京大 エネルギー理工学研) ,  木内淳介 (アイテック 研究開発部)
資料名： レーザー研究  (レーザー学会誌)
巻： 33  号： 8  ページ： 519-524,551  発行年： 2005年08月15日 
JST資料番号： X0335A  ISSN： 0387-0200  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： フェムト秒レーザをアブレーションしきい値近傍の強度で硬質薄膜...

シソーラス用語： *表面改質 ,...
準シソーラス用語： レーザフルエンス

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分類 (2件)： レーザ照射・損傷  (BK16040S) ,  その他の表面処理  (WC08070F)

引用文献 (19件)：

• 1) J. Bonse, M. Geuß, S. Baudach, H. Sturm, and W. Kautek: Appl. Phys. A 69 (1999) S399.
• 2) J. Bonse, H. Sturm, D. Schmidt, and W. Kautek: Appl. Phys. A 71 (2000) 657.
• 3) 安丸尚樹, 宮崎健創, 木内淳介: 特願2002-012391 (2002), 特開2003-211400 (2003).
• 4) 安丸尚樹, 宮崎健創, 木内淳介: レーザー学会第22回年次大会予稿集 (2002年1月) p.105.
• 5) N. Yasumaru, K. Miyazaki, J. Kiuchi, and H. Magara: Technical Digest of lnt. Congress on Laser Advanced Materials Processing (LAMP2002), Osaka, May, 2002, p.38, Proc. of SPIE 4830 (2003) 521.

タイトルに関連する用語 (3件)： フェムト秒レーザー ,  硬質薄膜 ,  構造形成