CZシリコン溶融体対流に及ぼす高周波数磁場の影響

文献

J-GLOBAL ID：200902275879046743 整理番号：04A0709689

Effect of high frequency magnetic field on CZ silicon melt convection

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巻： 47 号： 21 ページ： 4525-4533 発行年： 2004年10月
JST資料番号： C0390A ISSN： 0017-9310 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

シリコンの単結晶成長過程における溶融体の流れ構造はシリコン結...

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半導体の結晶成長 , 対流・放射熱伝達

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