文献

J-GLOBAL ID：200902275907972543   整理番号：03A0816373

強誘電体ペレットDBDリアクタC₂F₆分解のペレット形状依存性

Ferro-Electric Pellet Shape Effect on C₂F₆ Removal by a Packed Bed Type Non-Thermal Plasma Reactor

著者 (3件)： TAKAKI K (Iwate Univ.) ,  URASHIMA K (Min. Edu. Sci. & Tech., JPN) ,  CHANG J S (McMaster Univ.)
資料名： 電気学会放電研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： ED-03  号： 122-138  ページ： 41-46  発行年： 2003年10月06日 
JST資料番号： Z0911A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 半導体排ガスからC₂F<sub>6<...

シソーラス用語： *気体放電 ,...
準シソーラス用語： 誘電体バリア放電 ,...

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分類 (3件)： 気体放電  (BJ03020T) ,  プラズマ応用  (BJ02110K) ,  有害ガス処理法  (SC04030H)

引用文献 (22件)：

• HOOD, M. Air Pollution in China. IEEE Spectrum. 1999, 37, 34-38
• HACKAM, R. Air Pollution Control by Electrial Discharges. IEEE Trans. Diel. Elect. Insul. 2000, 7, 654-683
• URASHIMA, K. Removal of Volatile Organic Compounds from Air Streams and Industrial Flue Gases by Non-Thermal Plasma Technology. IEEE Trans. Diel. Elect. Insul. 2000, 7, 602-614
• CHANG, M. B. An Atmospheric Pressure Plasma Process for C_2F_6 Removal. Environmental Sci. & Eng. 2001, 35, 8, 1587-1592
• CHANG, J. S. Recent Development of Plasma Pollution Control Technology : a Critical Review. Sci. & Technol. Adv. Materials. 2001, 2, 571-576

タイトルに関連する用語 (6件)： 強誘電体 ,  ペレット ,  DBD ,  リアクタ ,  分解 ,  形状依存性