可変焦点ミラー適用の焦点に基づく形状によるはんだバンプの形状測定

文献

J-GLOBAL ID：200902276157502317 整理番号：07A0034168

Shape Measurement of Solder Bumps by Shape-from-Focus Using Varifocal Mirror

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資料名：
巻： 18 号： 6 ページ： 722-727 発行年： 2006年12月20日
JST資料番号： L0735A ISSN： 0915-3942 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

本文では,焦点に基づく形状によるはんだバンプの3D形状計測の...

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固体デバイス製造技術一般 , 接続部品

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