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J-GLOBAL ID：200902276253530054   整理番号：05A0446228

軸方向点像分布関数の同時周波数領域再構成による高精度SMI顕微鏡法を用いた粒度測定

High-precision SMI microscopy size measurements by simultaneous frequency domain reconstruction of the axial point spread function

著者 (3件)： WAGNER Christian (Ruprecht-Karls-Univ. Heidelberg, Heidelberg, DEU) ,  SPOERI Udo (Ruprecht-Karls-Univ. Heidelberg, Heidelberg, DEU) ,  CREMER Christoph (Ruprecht-Karls-Univ. Heidelberg, Heidelberg, DEU)
資料名： Optik  (Optik)
巻： 116  号： 1  ページ： 15-21  発行年： 2005年 
JST資料番号： D0251A  ISSN： 0030-4026  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 空間変調照明(SMI)顕微鏡系の点像分布関数(PSF)を正確...

シソーラス用語： *点像分布関数 ,...
準シソーラス用語： 粒度測定 ,...

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分類 (1件)： 光学的測定とその装置一般  (BD07010S)

タイトルに関連する用語 (6件)： 点像分布関数 ,  周波数領域 ,  再構成 ,  SMI ,  顕微鏡法 ,  粒度測定