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J-GLOBAL ID：200902276343326413   整理番号：05A0659714

シリコンおよび多孔質シリコンの化学気相エッチング:シリコン太陽電池およびマイクロマシニングへの応用

Chemical vapour etching of silicon and porous silicon: silicon solar cells and micromachining applications

著者 (6件)： JABALLAH A. Ben (Inst. National de Rech. scientifique et technique, Hammam lif, TUN) ,  HASSEN M. (Inst. National de Rech. scientifique et technique, Hammam lif, TUN) ,  HAJJI M. (Inst. National de Rech. scientifique et technique, Hammam lif, TUN) ,  SAADOUN M. (Inst. National de Rech. scientifique et technique, Hammam lif, TUN) ,  BESSAIS B. (Inst. National de Rech. scientifique et technique, Hammam lif, TUN) ,  EZZAOUIA H. (Inst. National de Rech. scientifique et technique, Hammam lif, TUN)
資料名： Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science  (Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science)
巻： 202  号： 8  ページ： 1606-1610  発行年： 2005年06月 
JST資料番号： D0774A  ISSN： 1862-6300  CODEN： PSSABA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 最近,多孔質シリコンをオプトエレクトロニクス,シリコン太陽電...

シソーラス用語： *ケイ素 ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： シリコン ,  多孔質シリコン ,  化学 ,  気相エッチング ,  シリコン太陽電池 ,  マイクロマシニング ,  応用