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J-GLOBAL ID：200902276365275260   整理番号：04A0445118

多角バレルスパッタリング装置を用いた粉体微粒子の新規修飾法

著者 (3件)： 阿部孝之 (富山大 水素同位体科研セ) ,  赤丸悟士 (富山大 水素同位体科研セ) ,  渡辺国昭 (富山大 水素同位体科研セ)
資料名： 粉体工学会研究発表会講演論文集  (粉体工学会秋期研究発表会発表論文集)
巻： 2003  号： 春期  ページ： 47-48  発行年： 2003年05月28日 
JST資料番号： L1414A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *スパッタリング ,...
準シソーラス用語： 多角バレルスパッタリング

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分類 (2件)： 固体の製造・処理一般  (XD03021O) ,  スパッタリング  (BK16110U)

タイトルに関連する用語 (5件)： バレル ,  スパッタリング装置 ,  粉体 ,  微粒子 ,  修飾