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J-GLOBAL ID：200902276798561445   整理番号：04A0692823

銅配線における自己拡散バリア層形成のための新規合金元素

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著者 (2件)：
和田真

和田真 について

(東北大)

東北大 について

, 
小池淳一

小池淳一 について

(東北大)

東北大 について


資料名：
応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)

応用物理学会学術講演会講演予稿集 について


巻： 65th  号： 2  ページ： 711  発行年： 2004年09月01日 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)
シソーラス用語：
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*銅

銅 について

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分類 (2件)：
分類
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拡散浸透めっき 
(WC08025J)

拡散浸透めっき について

,  プリント回路 
(NA05040O)

プリント回路 について

タイトルに関連する用語 (4件)：
タイトルに関連する用語
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銅配線

銅配線 について

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自己拡散

自己拡散 について

, 
バリア層

バリア層 について

, 
合金元素

合金元素 について


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