材料プロセシングのために改良された走査電子顕微鏡観察の熱源モデリング

HWANG I-H; NA S-J

文献

J-GLOBAL ID：200902276901854200 整理番号：05A0133767

材料プロセシングのために改良された走査電子顕微鏡観察の熱源モデリング

A Study on Heat Source Modeling of Scanning Electron Microscopy Modified for Material Processing

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資料名：
巻： 36B 号： 1 ページ： 133-139 発行年： 2005年02月
JST資料番号： E0411B ISSN： 1073-5615 CODEN： MTTBCR 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

従来のSEMでのプローブ電流(試料に到達する電流)は100p...

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電子顕微鏡,イオン顕微鏡

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