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J-GLOBAL ID：200902276960141250   整理番号：07A0319752

ナノ結晶ダイヤモンド膜の誘電定数に及ぼす粒径と細孔の影響

Effect of grain size and pores on the dielectric constant of nanocrystalline diamond films

著者 (7件)： WANG Z. L. (Beijing National Lab. for Condensed Matter Physics, Inst. of Physics, Chinese Acad. of Sciences, Beijing 100080, CHN) ,  LI J. J. (Beijing National Lab. for Condensed Matter Physics, Inst. of Physics, Chinese Acad. of Sciences, Beijing 100080, CHN) ,  SUN Z. H. (Beijing National Lab. for Condensed Matter Physics, Inst. of Physics, Chinese Acad. of Sciences, Beijing 100080, CHN) ,  LI Y. L. (Beijing National Lab. for Condensed Matter Physics, Inst. of Physics, Chinese Acad. of Sciences, Beijing 100080, CHN) ,  LUO Q. (Beijing National Lab. for Condensed Matter Physics, Inst. of Physics, Chinese Acad. of Sciences, Beijing 100080, CHN) ,  GU C. Z. (Beijing National Lab. for Condensed Matter Physics, Inst. of Physics, Chinese Acad. of Sciences, Beijing 100080, CHN) ,  CUI Z. (Rutherford Appleton Lab., Central Microstructure Facility, Chilton, Didcot, Oxon Ox11 0QX, GBR)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 90  号： 13  ページ： 133118-133118-3  発行年： 2007年03月26日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 形態と粗さの異なるナノ結晶ダイヤモンド膜を,バイアス補助ホッ...

シソーラス用語： 微結晶 ,...
準シソーラス用語： 禁止帯 ,...

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分類 (2件)： 薄膜一般  (BK14010X) ,  誘電体一般  (BM05010F)

物質索引 (1件)： メタン

タイトルに関連する用語 (4件)： ナノ結晶ダイヤモンド膜 ,  誘電定数 ,  粒径 ,  細孔